|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式：
|
| 浸没式光刻机对焦控制技术研究 期刊论文
光学学报, 2018
作者: 段晨; 宗明成; 范伟; 孟璐璐
  收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2019/04/25 |
| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者: 毕丹丹; 张立超; 时光
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2019/09/17
|
| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 毕丹丹
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2019/09/23
|
| 投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 周泽龙
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2019/09/23
|
| 接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 张伟
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2016/12/30
|
| 胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响 期刊论文
光学精密工程, 2015, 期号: 07, 页码: 2005-2012
作者: 贾树强; 黄玮; 庞武斌
收藏 | 浏览/下载：36/0 | 提交时间：2016/07/06
|
| 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 徐明飞
收藏 | 浏览/下载：63/0 | 提交时间：2015/11/30
|
| 偏振性能测试方法研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者: 侯梦晗
收藏 | 浏览/下载：67/0 | 提交时间：2015/07/30
|
| 基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计 期刊论文
光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 102-111
作者: 邢莎莎; 冉英华; 江海波; 邢廷文
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2016/11/01
|
| 基于随机并行梯度速降算法的光刻机光源与掩模联合优化方法 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 9, 页码: 911002
作者: 李兆泽; 李思坤; 王向朝
收藏 | 浏览/下载：37/0 | 提交时间：2016/11/25
|
