胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响

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	胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响
	贾树强; 黄玮; 庞武斌
刊名	光学精密工程
	2015-07-15
期号	07 页码:2005-2012
关键词	光机系统反射镜三点支撑表面面形胶层有限元模型
中文摘要	以45nm浸没式光刻物镜中采用的三点支撑反射镜为研究对象,建立了胶层连接的三点边缘支撑结构模型,用以确定胶层厚度对三点支撑反射镜面形变化的影响。分析了重力作用下三点支撑反射镜的面形变化情况,通过解析表达式描述了胶层厚度对反射镜受力变形的影响。建立了支撑块-胶层-反射镜的有限元计算模型,针对不同胶层厚度对反射镜的面形变化进行了仿真分析。仿真结果表明:随着胶层厚度的增大,反射镜的面形变化(均方根值RMS)呈现先减小后增大的趋势;当胶层厚度为280μm时,反射镜面形变化的RMS值最小,约为1.25nm。最后,通过实验测量了柔性双脚架三点边缘支撑导致的反射镜面形变化。结果显示:当胶层厚度为200,280,400μm时,反射镜面形的变化结果均与仿真结果一致,验证了本文仿真结果的正确性。
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/53904]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	贾树强,黄玮,庞武斌. 胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响[J]. 光学精密工程,2015(07):2005-2012.
APA	贾树强,黄玮,&庞武斌.(2015).胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响.光学精密工程(07),2005-2012.
MLA	贾树强,et al."胶层厚度对三点支撑反射镜面形的影响".光学精密工程 .07(2015):2005-2012.