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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文 中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764 作者:  毕丹丹;  张立超;  时光 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/09/17 浸没式光刻  光学薄膜  膜系设计  环境适应性  激光辐照寿命   浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  毕丹丹 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2019/09/23 光学薄膜  浸没式光刻  大角度保偏膜系  浸液环境寿命  激光辐照寿命