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| A Novel High Volume Manufacturing Method for Defect-free and High-yield SiN Micro-sieve Membranes 期刊论文
Journal of Microelectronic Manufacturing, 2018
作者: Zhao C(赵超) ; Wei YY(韦亚一); Chen R(陈睿); Dong LS(董立松); Liu YS(刘艳松)
  收藏 | 浏览/下载：32/0 | 提交时间：2019/05/05 |
| Retargeting of forbidden-dense-alternate structures for lithography capability improvement in advanced nodes 期刊论文
APPLIED OPTICS, 2018
作者: He JF(何建芳); Dong LS(董立松); Ye TC(叶甜春); Zhao LJ(赵利俊); Wei YY(韦亚一)
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2019/05/05 |
| Pattern quality and defect evaluation based on cross correlation and power spectral density methods 期刊论文
J Vac Sci Technol B, 2018
作者: Zhang LB(张利斌); Ma L(马乐); Chen R(陈睿); He JF(何建芳); Su XJ(苏晓菁)
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2019/05/05 |
| Fast optical proximity correction method based on nonlinear compressive sensing 期刊论文
Optics Express, 2018
作者: Xu Ma; Javier Garcia-Frias; Lisong Dong; Gonzalor.Arce; YanQiu Li
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2019/05/05 |
| Development defect model for immersion photolithography 期刊论文
J. Micro/Nanolith. MEMS MOEMS, 2018
作者: Qing Wu; Ling Ma; Lisong Dong; Qiaoqiao Li; Yayi Wei
收藏 | 浏览/下载：27/0 | 提交时间：2019/05/05 |
| 七级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法 专利
专利号: CN201610140991.2, 申请日期: 2017-10-24, 公开日期: 2016-05-04
作者: 韦亚一; 苏晓菁; 董立松; 张利斌
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2018/04/24 |
| 五级衍射光栅结构及其制备方法、晶圆光刻对准方法 专利
专利号: CN201610140129.1, 申请日期: 2017-10-24, 公开日期: 2016-05-25
作者: 苏晓菁; 董立松; 张利斌; 韦亚一
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2018/04/25 |
| Characteristic study of image-based alignment for increasing accuracy in lithography application 期刊论文
Journal of Vacuum Science & Technology B, 2017
作者: Zhang LB(张利斌); Dong LS(董立松); Su XJ(苏晓菁); Wei YY(韦亚一)
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2018/07/09 |
| 光源掩模协同优化的原理与应用 期刊论文
半导体技术, 2017
作者: 韦亚一; 董立松; 何建芳; 陈文辉
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2018/06/08 |
| Applications of RCWA on EUV mask optics 会议论文
作者: Fan TA(范泰安); Dong LS(董立松); Wei YY(韦亚一)
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2018/07/26 |
