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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
  收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者: 张璐; 向阳
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 基于衍射光学元件的多波前横向剪切干涉方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 崔博川
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 紧凑型静态傅里叶光谱仪光学系统设计 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 李晚侠
收藏 | 浏览/下载：0/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 方超
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者: 方超; 向阳; 齐克奇
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 剪切干涉仪精密相移系统的研制 期刊论文
国外电子测量技术, 2014, 期号: 12, 页码: 57-60
于长淞; 代雷
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2015/04/17
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| 十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
方超; 向阳
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2015/04/17
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| 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计 期刊论文
电子测量与仪器学报, 2013, 期号: 11, 页码: 1099-1104
于长淞; 齐克奇; 张春雷; 向阳
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2014/03/07
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| 数字横向剪切干涉仪相移技术 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 09, 页码: 2244-2251
何煦; 向阳
收藏 | 浏览/下载：24/0 | 提交时间：2014/03/07
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