数字横向剪切干涉仪相移技术

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	数字横向剪切干涉仪相移技术
	何煦 ; 向阳
刊名	光学精密工程
	2013-09-15
期号	09 页码:2244-2251
关键词	光学测量波像差相移式干涉仪剪切干涉仪柔性铰链
中文摘要	由于相移式横向剪切干涉仪相移单元的分辨率、精度等参数直接影响其测试物镜波像差的精度,本文根据相移式横向剪切干涉测试原理,设计了采用宏微复合运动模式的相移组件,该相移组件可在25 mm行程内实现纳米级的相移运动。重点分析了柔性铰链复合四杆结构微动单元初始设计参数间的数学规律,计算了铰链刚度与弱截面应力,并给出了具体的设计实例。采用有限元分析方法,对设计实例中微动单元的相移量与压电陶瓷(PZT)出力之间的作用规律进行仿真,并分析了相移精度。结果显示,PZT在促动力输出范围内可促动0.1 mm~1 nm的一维相移运动,理论精度优于3.5 nm。微动单元的开环标定测试结果表明,相移微动单元的实际精度优于5 nm。
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2014-03-07
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38806]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	何煦,向阳. 数字横向剪切干涉仪相移技术[J]. 光学精密工程,2013(09):2244-2251.
APA	何煦,&向阳.(2013).数字横向剪切干涉仪相移技术.光学精密工程(09),2244-2251.
MLA	何煦,et al."数字横向剪切干涉仪相移技术".光学精密工程 .09(2013):2244-2251.