基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计

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	基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计
	于长淞 ; 齐克奇 ; 张春雷 ; 向阳
刊名	电子测量与仪器学报
	2013-11-15
期号	11 页码:1099-1104
关键词	剪切干涉光栅移相压电陶瓷有限元
中文摘要	基于光栅衍射的横向剪切干涉仪具有很高的检测精度,为满足相移的需要,光栅移相装置需要拥有较大的行程,是干涉仪的关键器件之一。根据干涉仪需求设计了基于柔性铰链及桥式放大机构并利用压电陶瓷驱动的光栅移相装置,利用有限元分析方法对其受力和形变特性进行了分析。利用PI公司的电容传感器及数字压电控制器搭建了测试平台对其进行了测试,获得了开环条件下迟滞特性曲线,在输出电压为100 V时,光栅移相装置的行程可达225μm。实验结果表明,光栅移相装置的行程与理论设计指标接近,满足设计要求。
收录类别	CNKI
语种	中文
公开日期	2014-03-07
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/38937]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	于长淞,齐克奇,张春雷,等. 基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计[J]. 电子测量与仪器学报,2013(11):1099-1104.
APA	于长淞,齐克奇,张春雷,&向阳.(2013).基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计.电子测量与仪器学报(11),1099-1104.
MLA	于长淞,et al."基于光栅衍射的横向剪切干涉仪精密相移系统设计".电子测量与仪器学报 .11(2013):1099-1104.