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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
  收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 一种用于激光直接成像光刻的对准镜头 专利
申请日期: 2018-01-01,
作者: 周胜; 俞本立; 张磊; 李劲松
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/04/22 |
| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者: 张璐; 向阳
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 方超
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 基于联合变换相关原理的光学定心技术研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 李春才
收藏 | 浏览/下载：53/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 纳米光刻中叠栅莫尔条纹检焦技术研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者: 邸成良
收藏 | 浏览/下载：60/0 | 提交时间：2015/07/30
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| 一种以金属玻璃为光刻胶的光刻方法及系统 专利
专利号: CN103048888B, 申请日期: 2015-01-28, 公开日期: 2015-01-28
作者: 缪向水; 曾笔鉴; 李震; 黄君竹
收藏 | 浏览/下载：14/0 | 提交时间：2019/12/26 |
| 投影光刻物镜的计算机辅助装调 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 6, 页码: 206-211
赵菲菲; 唐剑宇; 黄玮; 许伟才
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2015/04/17
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| 十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
方超; 向阳
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2015/04/17
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| 衍射光学元件的加工工艺及其在各种光谱镜头中的应用 期刊论文
光电技术应用, 2014, 卷号: 29, 期号: 2, 页码: 31-38+65
作者: 程习敏; 白瑜; 谢伟民; 邢廷文; 林妩媚
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2016/11/01
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