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| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者: 毕丹丹; 张立超; 时光
  收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 毕丹丹
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 周泽龙
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 方超
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者: 方超; 向阳; 齐克奇
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者: 董冠极; 唐锋; 王向朝; 冯鹏; 郭福东
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