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提高非晶硅薄膜太阳能电池开路电压的方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-02-24, 2010-08-12, 2010-10-15
石明吉; 曾湘波; 张长沙; 刘石勇; 彭文博; 肖海波
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金属有机物化学气相沉积装置 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-02-24, 2010-08-12, 2010-10-15
作者:  段瑞飞
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氧化物的化学气相沉积制备装置及制备方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2009-01-14, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15
段垚; 王晓峰; 崔军朋; 曾一平
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高纯氧化锌的化学气相沉积装置及其制备方法 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2008-09-24, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15
王晓峰; 段垚; 崔军朋; 曾一平
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生长氧化物薄膜的金属有机物化学气相沉积反应室结构 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-09-13, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15
丛光伟; 刘祥林; 董向芸; 魏宏源; 王占国
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金属有机物化学气相沉积设备反应室中的反烘烤沉积结构 专利
专利类型: 发明, 申请日期: 2006-07-05, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15
作者:  焦春美
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一种改善硅薄膜太阳能电池微结构和电学性能的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201010162332.1, 公开日期: 2011-08-31
肖海波; 曾湘波; 谢小兵; 姚文杰; 彭文博; 刘石勇
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用于金属有机化合物化学气相沉积设备反应室的进气顶盘 专利
专利类型: 发明, 公开日期: 2016-09-29
王晓亮; 殷海波; 肖红领; 姜丽娟; 冯春
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氢气调制本征层能带结构优化非晶硅太阳电池及制作方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102176496A, 公开日期: 2012-09-07, 2011-09-07, 2012-09-07
彭文博; 曾湘波; 刘石勇; 姚文杰; 谢小兵; 肖海波; 杨萍; 王超; 俞育德
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用于金属化学气相沉积设备反应室的进气喷淋头 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN102492937A, 公开日期: 2012-08-29, 2012-08-29, 2012-08-29
冉军学; 胡强; 梁勇; 胡国新; 王军喜; 曾一平; 李晋闽
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