| 高纯氧化锌的化学气相沉积装置及其制备方法 | |
| 王晓峰 ; 段垚 ; 崔军朋 ; 曾一平 | |
| 2008-09-24 | |
| 专利类型 | 发明 |
| 英文摘要 | Submitted by zhangdi (zhangdi@red.semi.ac.cn) on 2009-06-04T08:36:34Z No. of bitstreams: 1 dspace.cfg: 33388 bytes, checksum: ac9630d3fdb36a155287a049e8b34eb7 (MD5); Made available in DSpace on 2009-06-04T08:36:35Z (GMT). No. of bitstreams: 1 dspace.cfg: 33388 bytes, checksum: ac9630d3fdb36a155287a049e8b34eb7 (MD5) Previous issue date: 2008-08; Made available in DSpace on 2009-06-11T08:58:29Z (GMT). No. of bitstreams: 1 full/CN200710064591.9.pdf: 450642 bytes, checksum: 47bc8a336c29c21ed7a28fde29ab55b7 (MD5) Previous issue date: |
| 公开日期 | 2009-06-04 ; 2009-06-11 ; 2010-10-15 |
| 申请日期 | 2007-03-21 |
| 语种 | 中文 |
| 专利申请号 | CN200710064591.9 |
| 内容类型 | 专利 |
| 源URL | [http://ir.semi.ac.cn/handle/172111/4207]  |
| 专题 | 半导体研究所_中国科学院半导体研究所（2009年前） |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 王晓峰,段垚,崔军朋,等. 高纯氧化锌的化学气相沉积装置及其制备方法. 2008-09-24. |
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