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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 具有纳米级运动分辨率及定位精度的工作台的研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2006 作者:  王勇 收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2016/11/28 纳米定位  压电驱动  柔性铰链  串联机构  并联机构  数字PID   纳米分辨率微振动实时干涉测量技术的研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2001 作者:  宋松 收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/11/28 实时测量  干涉仪  半导体激光器  正弦相位调制   空间激光通信ATP系统的快速反射镜驱动技术 学位论文 作者:  赵学强 收藏  |  浏览/下载：40/0  |  提交时间：2018/12/26 光通信  Optical communication  ATP  ATP  FSM  Fast steering mirror  模拟驱动电路  Analog drive circuit   桌面式无掩膜光刻系统的研制 学位论文 作者:  梁鑫 收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2018/12/26 桌面式光刻系统  Maskless lithography  小孔检焦系统  automatic tracking  自动跟踪系统  flatness measurement  运动平整度检测