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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 纳米光刻中叠栅莫尔条纹检焦技术研究 学位论文 博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015 作者:  邸成良 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2015/07/30 光刻  检焦  莫尔条纹  相位分析   桌面式无掩膜光刻系统的研制 学位论文 作者:  梁鑫 收藏  |  浏览/下载：59/0  |  提交时间：2018/12/26 桌面式光刻系统  Maskless lithography  小孔检焦系统  automatic tracking  自动跟踪系统  flatness measurement  运动平整度检测