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同步辐射硬X射线纳米聚焦自适应位相补偿系统光学特性研究 学位论文
: 中国科学院大学(中国科学院上海应用物理研究所), 2020
作者:  田纳玺
收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2020/12/07
压电倾斜镜迟滞非线性建模及逆补偿控制 期刊论文
光电工程, 2020, 卷号: 47, 期号: 4, 页码: 19-25
作者:  刘鑫;  李新阳;  杜睿
收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2021/05/11
压电陶瓷驱动器迟滞非线性建模及逆补偿控制 期刊论文
光电工程, 2019, 卷号: 46, 期号: 8, 页码: 23-30
作者:  刘鑫[1,2,3];  李新阳[1,2];  杜睿[1,2]
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2021/05/06
压电式倾斜镜迟滞特性及其实验研究 期刊论文
光学学报, 2018, 卷号: 38, 期号: 8, 页码: 1-7
作者:  曹开锐;  王岩;  李松;  姜晓明;  于志亮
收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2018/09/30
压电陶瓷迟滞非线性前馈补偿器 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2217-2223
作者:  郭劲;  方楚;  徐新行;  姜振华;  王挺峰
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/09/17
基于梯形算子的AFM驱动器非对称迟滞性校正 期刊论文
仪器仪表学报, 2015, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 32-39
作者:  王栋;  于鹏;  周磊;  刘柱;  董再励
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2015/03/17
用于大NA光刻投影物镜波像差检测系统的精密定位台的研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2012
舒强
收藏  |  浏览/下载：44/0  |  提交时间：2014/12/11
迟滞动态模型辨识 期刊论文
仪器仪表学报, 2009, 卷号: 30, 期号: 5, 页码: 1042-1048
作者:  Wang, Xiangjiang;  Wang, Xingsong
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/12/27

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