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| 基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者: 吴越; 王丽萍; 于杰; 张旭; 金春水
  收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2022/06/29 |
| 基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者: 吴越; 王丽萍; 于杰; 张旭; 金春水
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2022/06/13 |
| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 李朋志
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者: 毕丹丹; 张立超; 时光
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 毕丹丹
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 周泽龙
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 方超
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者: 方超; 向阳; 齐克奇
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/17
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