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| 基于夹层结构的长波红外超表面吸收器设计研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 罗奕
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| 基于湿法预释放结构的MEMS红外光源及其制备方法 专利
专利号: CN201610798783.1, 申请日期: 2018-06-22, 公开日期: 2016-12-07
作者: 陈大鹏 ; 明安杰; 刘卫兵; 孙西龙; 王玮冰
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2019/03/05 |
| 一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器 专利
专利号: 2016105665142, 申请日期: 2018-06-22,
作者: 魏兴战; 杨俊; 冯双龙; 申钧; 周大华
收藏 | 浏览/下载：21/0 | 提交时间：2018/07/02 |
| 基于MEMS工艺的金属微通道底板成型技术 项目
2018-
作者: 杜立群
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/02 |
| DC到射频波段MEMS开关芯片研究 无文献类型
作者: 王国栋
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/11/19
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| MEMS 压阻式压力传感器芯片及其温漂特性的研究 无文献类型
作者: 万飞
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/11/19
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| 用于气体传感器的微热板工艺流程与性能对比 期刊论文
仪表技术与传感器, 2018, 页码: 17-20
作者: 李中洲; 余隽; 周君伟; 耿万鑫; 唐祯安
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/02
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| 140单元MEMS变形镜研制及测试分析 期刊论文
光电工程, 2018, 卷号: 45, 期号: 3, 页码: 170698-1-9
作者: 汪为民; 王强
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2019/08/23
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| 基于TiO2/SnO2复合薄膜的晶圆级低功耗集成式微型气体传感器 学位论文
2018
作者: 王梦雅
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2019/11/26
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| 应用于喷墨打印头的薄膜驱动器MEMS工艺研究 学位论文
2018
作者: 刘迪
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2019/11/26
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