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题名	应用于喷墨打印头的薄膜驱动器MEMS工艺研究
作者	刘迪
答辩日期	2018
导师	夏鸿雁
关键词	喷墨打印 MEMS工艺 驱动薄膜 驱动腔室 薄膜驱动器
学位名称	工程硕士
URL标识	查看原文
内容类型	学位论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/2913116
专题	西安交通大学
推荐引用方式 GB/T 7714	刘迪. 应用于喷墨打印头的薄膜驱动器MEMS工艺研究[D]. 2018.

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