一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器

	一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器
	魏兴战; 杨俊; 冯双龙; 申钧; 周大华; 汤林龙; 史浩飞; 杜春雷
	2018-06-22
著作权人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
专利号	2016105665142
国家	中国
文献子类	发明专利
英文摘要	本发明涉及一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器，包括第一氮化硅层，所述第一氮化硅层向下依次为第一碳纳米红外吸收层，第二氮化硅层，热敏电阻层和第四氮化硅层；所述第一氮化硅层、第一碳纳米红外吸收层和第二氮化硅层构成红外探测器的宽波段红外吸收复合膜；所述第四氮化硅层和金属反射层之间通过支撑桥墩形成红外吸收谐振腔；所述金属反射层位于硅衬底之上。本发明的红外探测器能够实现宽波段红外吸收增强，从而提高器件的探测灵敏度，器件结构简单，兼容MEMS工艺，适合批量生产。
分类号	G01j5/20(2006.01)i
申请日期	2016-07-19
语种	中文
状态	已授权
内容类型	专利
源URL	[http://119.78.100.138/handle/2HOD01W0/6364]
专题	微纳制造与系统集成研究中心
作者单位	中国科学院重庆绿色智能技术研究院
推荐引用方式 GB/T 7714	魏兴战,杨俊,冯双龙,等. 一种基于碳纳米红外吸收层的红外探测器. 2016105665142. 2018-06-22.