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机器人气囊抛光SiC光学元件加工特性研究
期刊论文
西安交通大学学报, 2020, 期号: 12, 页码: 9
作者:
黄智
;
周涛
;
吴湘
;
刘海涛
;
万勇健
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浏览/下载:34/0
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提交时间:2021/05/11
气囊抛光
碳化硅
去除函数
抛光头
化学机械抛光液的研究进展
期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 48, 页码: 1-10,23
作者:
孟凡宁
;
张振宇
;
郜培丽
;
孟祥东
;
刘健
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2019/12/02
化学机械抛光
抛光液
磨粒
氧化剂
绿色环保
硬质合金刀具材料化学机械抛光机理研究
期刊论文
表面技术, 2019, 卷号: 第2期
作者:
袁巨龙
;
毛美姣
;
李敏
;
刘舜
;
胡自化
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2019/12/13
表面活性剂复配对蓝宝石CMP后清洗效果的影响
期刊论文
微纳电子技术, 2019, 卷号: 56, 期号: 2, 页码: 151-156
作者:
韦嘉辉[1]
;
周海[2]
;
高晗[3]
;
梁志强[4]
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2019/12/24
蓝宝石
化学机械抛光(CMP)
清洗
表面活性剂复配
超声波
大径厚比铜片的化学机械抛光
期刊论文
金刚石与磨料磨具工程, 2018, 卷号: 38, 页码: 81-85
作者:
万策
;
金洙吉
;
吴頔
;
刘作涛
;
司立坤
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2019/12/02
化学机械抛光
大径厚比
铜片
物相
残余应力
抛光垫特性对氧化镓CMP影响的实验研究
期刊论文
工具技术, 2018, 期号: 06, 页码: 29-32
作者:
龚凯[1]
;
周海[2]
;
韦嘉辉[3]
;
宋放[4]
;
王晨宇[5]
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2019/12/24
抛光垫特性
单晶氧化镓
化学机械抛光
材料去除率
表面质量
在线电解修整磨削与化学机械抛光相结合的蓝宝石基片组合加工技术
期刊论文
中国机械工程, 2018, 卷号: 第29卷 第11期, 页码: 1310-1315
作者:
徐志强
;
尹韶辉
;
姜胜强
;
朱科军
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提交时间:2019/12/26
蓝宝石基片
在线电解修整磨削
化学机械抛光
组合加工技术
酸性条件下的CdSe波片抛光工艺研究
期刊论文
人工晶体学报, 2018, 卷号: 047, 期号: 006, 页码: 1280
作者:
魏顺勇
;
张志勇
;
杨辉
;
安辛友
;
张敏
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提交时间:2020/03/11
新型硅基抛光磨料的研究进展
期刊论文
应用化工, 2017, 卷号: 46, 页码: 1608-1612
作者:
王丹[1]
;
秦飞[2]
;
刘卫丽[3]
;
孔慧[4]
;
宋志棠[5]
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/04/24
二氧化硅
复合磨料
非球形
混合磨料
掺杂
化学机械抛光
钴掺杂硅溶胶的制备及其在A向蓝宝石抛光中的应用
期刊论文
表面技术, 2017, 卷号: 46, 页码: 259-267
作者:
王丹[1]
;
汪为磊[2]
;
秦飞[3]
;
刘卫丽[4]
;
施利毅[5]
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/04/24
非球形硅溶胶
钴
化学机械抛光
蓝宝石
摩擦系数
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