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科研机构
半导体研究所 [3]
内容类型
期刊论文 [3]
发表日期
2002 [1]
2001 [1]
1998 [1]
学科主题
半导体物理 [3]
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学科主题:半导体物理
内容类型:期刊论文
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Microstructure of a-SiOx : H
期刊论文
science in china series a-mathematics physics astronomy, 2002, 卷号: 45, 期号: 10, 页码: 1320-1328
Wang YQ
;
Liao XB
;
Diao HW
;
Cheng WC
;
Li GH
;
Chen CY
;
Zhang SB
;
Xu YY
;
Chen WD
;
Kong GL
收藏
  |  
浏览/下载:43/0
  |  
提交时间:2010/08/12
a-SiOx : H
microstructure
bonding configuration
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
AMORPHOUS-SILICON
ELECTRONIC-PROPERTIES
SIO2/SI INTERFACE
OXYGEN
FILMS
VIBRATIONS
ALLOYS
SYSTEM
The microstructure and its high-temperature annealing behaviours of a-Si : O : H film
期刊论文
acta physica sinica, 2001, 卷号: 50, 期号: 12, 页码: 2418-2422
Wang YQ
;
Chen CY
;
Chen WD
;
Yang FH
;
Diao HW
收藏
  |  
浏览/下载:82/6
  |  
提交时间:2010/08/12
a-Si : O : H
nc-Si
microstructure
annealing
CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION
AMORPHOUS SIO2
OPTICAL-PROPERTIES
SILICON
Study of microstructure of high stability hydrogenated amorphous silicon films by Raman scattering and infrared absorption spectroscopy
期刊论文
applied physics letters, 1998, 卷号: 73, 期号: 3, 页码: 336-338
Sheng SR
;
Liao XB
;
Kong GL
;
Han HX
收藏
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浏览/下载:49/0
  |  
提交时间:2010/08/12
A-SI-H
CRYSTALLINE SILICON
DEPOSITION
SPECTRA
QUALITY
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