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科研机构
微电子研究所 [7]
内容类型
期刊论文 [6]
专利 [1]
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2018 [1]
2016 [1]
2015 [1]
2014 [4]
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专题:微电子研究所
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半导体器件制造方法
专利
专利号: CN201310184801.3, 申请日期: 2018-09-18, 公开日期: 2014-11-26
作者:
唐兆云
;
闫江
;
唐波
;
贾宬
;
王大海
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浏览/下载:51/0
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提交时间:2019/03/22
Attainment of dual-band edge work function by using a single metal gate and single high-k dielectric via ion implantation for HP CMOS device
期刊论文
Solid-State Electronics, 2016
作者:
Xu GB(许高博)
;
Zhou HJ(周华杰)
;
Zhu HL(朱慧珑)
;
Liu JB(刘金彪)
;
Wang Y(王垚)
收藏
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浏览/下载:26/0
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提交时间:2017/05/09
Investigation of TaN as the wet etch stop layer for HKMG-last integration in the 22 nm and beyond nodes CMOS technology
期刊论文
Vacuum, 2015
作者:
Cui HS(崔虎山)
;
Luo J(罗军)
;
Xu J(许静)
;
Gao JF(高建峰)
;
Xiang JJ(项金娟)
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2016/05/31
超薄Ni0.86Pt0.14金属硅化物薄膜特性
期刊论文
半导体技术, 2014
作者:
闫江
;
张青竹
;
高建峰
;
许静
;
赵利川
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2015/04/24
SiGe Selective Epitaxial Growth Process for 22 nm Node CMOS and Beyond
期刊论文
The Electrochemical Society, 2014
作者:
Xu Q(徐强)
;
Wang GL(王桂磊)
;
Ye TC(叶甜春)
;
Luo J(罗军)
;
Li CL(李春龙)
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2015/04/24
Ni Silicide Processes For 22 nm CMOS Technology and Beyond
期刊论文
ECS Transactions, 2014
作者:
Xu J(许静)
;
Zhang QZ(张青竹)
;
Yan J(闫江)
;
Gao JF(高建峰)
;
Zhao LC(赵利川)
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2015/05/06
Impacts of Back Gate Bias Stressing on Device Characteristics for Extremely Thin SOI (ETSOI) MOSFETs
期刊论文
IEEE Electron device letters, 2014
作者:
Yan J(闫江)
;
Tang ZY(唐兆云)
;
Tang B(唐波)
;
Zhao LC(赵利川)
;
Zhao C(赵超)
收藏
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浏览/下载:8/0
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提交时间:2015/04/24
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