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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2019     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Micro-fabrication and hermeticity measurement of alkali-atom vapor cells based on anodic bonding 期刊论文 CHINESE OPTICS LETTERS, 2019, 卷号: 17, 期号: 10, 页码: 5 作者:  Zhang, Lu;  Zhang, Wendong;  Zhang, Shougang;  Yan, Shubin 收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2021/11/29 Wafer-level fabrication of low power consumption integrated alcohol microsensor 期刊论文 MICRO & NANO LETTERS, 2019, 卷号: 14, 页码: 11-16 作者:  Wang, Hairong;  Wang, Mengya;  Lei, Weitao;  Chen, Xiaowei;  Huang, Hao 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2019/11/19 nanocomposites  electrodes  membranes  alcohol detection  sputter deposition  organic compounds  suspensions  gas sensors  temperature sensors  power 39  microsensors  microelectromechanical systems micromachining technology  wafer-level sensor chips  electrochemical electrodes  micromachining  TiO2-SnO2  magnetron sputtering  temperature measurement  power consumption  suspended membrane  power measurement  0 mW  nanosensors  titanium compounds  low power consumption integrated alcohol microgas sensor  microheater  wafer-level fabrication  tin compounds   Sputtered SnO2:NiO thin films on self-assembled Au nanoparticle arrays for MEMS compatible NO2 gas sensors 期刊论文 SENSORS AND ACTUATORS B-CHEMICAL, 2019, 卷号: 278, 页码: 28-38 作者:  Wang, Ying;  Liu, Chengyao;  Wang, Zhou;  Song, Zhiwei;  Zhou, Xinyuan 收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2018/12/04 Au/SnO2:NiO thin films  Heterostructure  Self-assembly  NO2 gas detection  Thermal annealing  Fermi level   microfabricationandhermeticitymeasurementofalkaliatomvaporcellsbasedonanodicbonding 期刊论文 chineseopticsletters, 2019, 卷号: 17, 期号: 10 作者:  Zhang Lu;  Zhang Wendong;  Zhang Shougang;  Yan Shubin 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2020/09/02 CLOCKS