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	Surface quality evaluation of single crystal 4H-SiC wafer machined by hybrid laser-waterjet: Comparing with laser machining 期刊论文 MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2019, 卷号: 93, 页码: 238-251 作者: Feng, Shaochuan; Huang, Chuanzhen; Wang, Jun; Jia, Zhixin 收藏 \| 浏览/下载：11/0 \| 提交时间：2019/12/11 Single crystal 4H-SiC Surface quality Hybrid laser-waterjet micromachining Heat-affected zone (HAZ) Recast layer Oxidation behavior
	A study of hybrid laser-waterjet micromachining of crystalline germanium 期刊论文 PROCEEDINGS OF THE INSTITUTION OF MECHANICAL ENGINEERS PART B-JOURNAL OF ENGINEERING MANUFACTURE, 2018, 卷号: 232, 期号: 11, 页码: 1903-1917 作者: Zhu, Hao; Wang, Jun; Yao, Peng 收藏 \| 浏览/下载：3/0 \| 提交时间：2019/12/11 Germanium micro-grooving laser-assisted waterjet machining hybrid laser-waterjet laser waterjet
	Experimental Study of the Ultrasonic Vibration-Assisted Abrasive Waterjet Micromachining the Quartz Glass 期刊论文 ADVANCES IN MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING, 2018, 卷号: 2018 作者: Hou, Rongguo; Wang, Tao; Lv, Zhe; Liu, Yuanyong 收藏 \| 浏览/下载：2/0 \| 提交时间：2019/12/11
	Micromachining of 4H-SiC using femtosecond laser 期刊论文 CERAMICS INTERNATIONAL, 2018, 卷号: 44, 期号: 15, 页码: 17775-17783 作者: Zhang, Ru; Huang, Chuanzhen; Wang, Jun 收藏 \| 浏览/下载：2/0 \| 提交时间：2019/12/11 Silicon carbide Femtosecond laser Micromachining Phase change
	Material removal of single crystal 4H-SiC wafers in hybrid laser-waterjet micromachining process 期刊论文 MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2018, 卷号: 82, 页码: 112-125 作者: Feng, Shaochuan; Huang, Chuanzhen; Wang, Jun; Zhu, Hongtao 收藏 \| 浏览/下载：9/0 \| 提交时间：2019/12/11 Hybrid micromachining Laser Waterjet Material removal Finite difference method (FDM)
	Heat transfer and material ablation in hybrid laser-waterjet microgrooving of single crystalline germanium 期刊论文 INTERNATIONAL JOURNAL OF MACHINE TOOLS & MANUFACTURE, 2017, 卷号: 116, 页码: 25-39 作者: Zhu, Hao; Wang, Jun; Yao, Peng; Huang, Chuanzhen 收藏 \| 浏览/下载：4/0 \| 提交时间：2019/12/12 Laser ablation Micromachining Hybrid laser-waterjet Germanium Heat transfer Plasma
	Investigation and modelling of hybrid laser-waterjet micromachining of single crystal SiC wafers using response surface methodology 期刊论文 MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING, 2017, 卷号: 68, 页码: 199-212 作者: Feng, Shaochuan; Huang, Chuanzhen; Wang, Jun; Zhu, Hongtao 收藏 \| 浏览/下载：8/0 \| 提交时间：2019/12/12 Hybrid micromachining Laser Waterjet Interactive effect Prediction model Response surface methodology (RSM)
	Hybrid waveguiding structure in LiTaO3 crystal fabricated by direct femtosecond laser writing 期刊论文 OPTICAL MATERIALS, 2016, 卷号: 51, 页码: 190-193 作者: Cheng, Chen; Jia, Yuechen; Vazquez de Aldana, Javier R.; Tan, Yang; Chen, Feng 收藏 \| 浏览/下载：8/0 \| 提交时间：2019/12/16 Optical waveguides Femtosecond laser micromachining Lithium tantalate crystal Polarization-selective devices
	Ti:Sapphire micro-structures by femtosecond laser inscription: Guiding and luminescence properties 期刊论文 OPTICAL MATERIALS, 2016, 卷号: 58, 页码: 61-66 作者: Ren, Yingying; Jiao, Yang; de Aldana, Javier R. Vazquez; Chen, Feng 收藏 \| 浏览/下载：8/0 \| 提交时间：2019/12/16 Optical cladding waveguides Femtosecond laser micromachining Ti:Sapphire crystal Luminescence
	Fabrication of micro spherical electrode by one pulse EDM and their application in electrochemical micromachining 期刊论文 JOURNAL OF MANUFACTURING PROCESSES, 2015, 卷号: 17, 页码: 162-170 作者: Liu, Yong; Cai, Huitao; Li, Hansong 收藏 \| 浏览/下载：3/0 \| 提交时间：2019/12/17 Electrochemical etching One pulse electrical discharge Micro spherical electrode Electrochemical micromachining Micro hole with no taper Micro hemispherical cavity

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