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	Micromachining of 4H-SiC using femtosecond laser
	Zhang, Ru; Huang, Chuanzhen; Wang, Jun; Zhu, Hongtao; Yao, Peng; Peng, Shaochuan
刊名	CERAMICS INTERNATIONAL
	2018
卷号	44期号:15页码:17775-17783
关键词	Silicon carbide Femtosecond laser Micromachining Phase change
DOI	10.1016/j.ceramint.2018.06.245
URL标识	查看原文
公开日期	[db:dc_date_available]
内容类型	期刊论文
URI标识	http://www.corc.org.cn/handle/1471x/4579155
专题	山东大学
作者单位	Shandong Univ, Natl Demonstrat Ctr Expt Mech Engn Educ, Key Lab High Efficiency & Clean Mech Ma
推荐引用方式 GB/T 7714	Zhang, Ru,Huang, Chuanzhen,Wang, Jun,et al. Micromachining of 4H-SiC using femtosecond laser[J]. CERAMICS INTERNATIONAL,2018,44(15):17775-17783.
APA	Zhang, Ru,Huang, Chuanzhen,Wang, Jun,Zhu, Hongtao,Yao, Peng,&Peng, Shaochuan.(2018).Micromachining of 4H-SiC using femtosecond laser.CERAMICS INTERNATIONAL,44(15),17775-17783.
MLA	Zhang, Ru,et al."Micromachining of 4H-SiC using femtosecond laser".CERAMICS INTERNATIONAL 44.15(2018):17775-17783.

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