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上海光学精密机械研... [14]
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学位论文 [14]
学科主题
光学工程 [14]
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基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究
学位论文
作者:
郑亚忠
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浏览/下载:259/0
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提交时间:2018/12/26
光刻机,工件台,位置测量,平面光栅尺
Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder
超短超强激光系统波前控制技术与实验研究
学位论文
作者:
陈杰
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2018/12/26
超短超强激光,拍瓦激光,自适应光学,波前控制,哈特曼传感
ultra-short ultra-intense laser, petawatt laser, adaptive optics,
在线可更换模块(LRU)调平与对接关键技术研究
学位论文
作者:
王世魏
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浏览/下载:68/0
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提交时间:2018/12/26
混联机构
Hybrid mechanism
调平与对接
Leveling and docking
同时建图与定位
SLAM
二维码定位
Positioning by Qr-code
星载大气激光雷达光机集成分析的研究
学位论文
作者:
穆永吉
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浏览/下载:28/0
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提交时间:2018/12/26
激光雷达,光机集成分析,有限元分析,光学设计,Zernike拟合
Lidar, Integrated optomechanical analysis, Finite element analysis, Optical design, Zernike Fitting
基于点衍射干涉仪的成像系统综合像质检测技术
学位论文
作者:
董冠极
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浏览/下载:49/0
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提交时间:2018/12/26
光学检测
Optical Measurement
像差
Aberration
泽尼克多项式
Zernike polynomials
点衍射干涉
Point-diffraction
高精度三维相位检测及成像技术研究
学位论文
作者:
蒋志龙
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浏览/下载:29/0
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提交时间:2018/12/26
光学检测
optical inspection
相位恢复
phase recovery
全息成像
holography imaging
强度传输方程
transport-of-intensity equation
三维成像
three dimensional imaging
空间激光通信ATP系统的快速反射镜驱动技术
学位论文
作者:
赵学强
收藏
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浏览/下载:40/0
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提交时间:2018/12/26
光通信
Optical communication
ATP
ATP
FSM
Fast steering mirror
模拟驱动电路
Analog drive circuit
光纤在三倍频脉冲激光参数测量中应用研究及三倍频参数诊断实现
学位论文
作者:
何荣斌
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2018/12/26
高功率激光
high power laser
紫外脉冲
ultraviolet pulse
紫外光纤
ultraviolet fiber
传输特性
transmission characteristics
激光参数诊断
laser parameter diagnosis
基于强度传输方程的激光损伤应力检测技术研究
学位论文
作者:
雷耀
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2018/12/26
相位恢复
Phase retrieval
强度传输方程
TIE
应力双折射
Birefringence
损伤检测
Damage detection
宽带“三明治”结构金属介质光栅和金光栅的激光损伤测试及其机理研究
学位论文
作者:
黄昊鹏
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2018/12/26
啁啾脉冲放大技术
Chirped Pulse Amplification technique
“三明治”金属介质光栅
Sandwiched metal multilayer dielectric gratings
金光栅
Gold gratings
激光损伤
Laser damge
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