中国开放科研知识云: 检索

单模面发射OAM激光器 专利
专利号: CN108054633A, 申请日期: 2018-05-18, 公开日期: 2018-05-18
作者: 国伟华; 马向; 陆巧银

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极紫外光刻掩模缺陷检测系统 专利
专利号: CN201210104156.5, 申请日期: 2015-07-01, 公开日期: 2013-10-23
作者: 李海亮; 谢常青; 刘明; 李冬梅; 牛洁斌

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光子晶体边耦合双通道光波导传输系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: 201210021943.3, 申请日期: 2014-01-15, 公开日期: 2014-01-15
王维彪; 梁静秋

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在厚负性高分辨率电子束抗蚀剂HSQ上制作密集图形的方法 专利
专利号: CN200810116381.4, 申请日期: 2012-03-21, 公开日期: 2010-01-13
作者: 陈宝钦; 刘明; 赵珉; 朱效立

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晶圆检测方法以及晶圆检测装置 专利
申请日期: 2011-09-23, 公开日期: 2012-11-20
作者: 陈鲁

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一种集成电路缺陷的光学检测方法和装置 专利
专利号: CN103018202A, 申请日期: 2011-09-22, 公开日期: 2012-11-20, 2013-04-03
作者: 陈鲁

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晶圆颗粒检测方法 专利
申请日期: 2011-06-16, 公开日期: 2012-11-20
作者: 陈鲁

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倾斜入射光散射式硅片表面缺陷检测仪 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: ZL200520045038.7, 申请日期: 2006-10-04, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
程兆谷; 高海军; 覃兆宇; 张志平; 黄惠杰; 钱红斌

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具有散射光强倍增系统的硅片表面缺陷检测仪 专利
专利类型: 实用新型, 专利号: ZL200520043341.3, 申请日期: 2006-08-30, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
张志平; 程兆谷; 高海军; 覃兆宇

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生长金红石晶体的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: ZL02112081.1, 申请日期: 2005-01-26, 公开日期: 2011-07-14, 2011-07-15
周国清; 徐军; 徐晓东; 徐月泉

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