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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 The application of the scallop nanostructure in deep silicon etching 期刊论文 NANOTECHNOLOGY, 2020, 卷号: 31, 期号: 31, 页码: 1-11 作者:  Lin, Yuanwei;  Yuan, Renzhi;  Zhou, Ce;  Dong, Zihan;  Su, Ziduo 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2021/09/14 deep silicon etching  Bosch process  scallop nanostructure  fluorocarbon polymer  minimum effect