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浏览/检索结果: 共9条，第1-9条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序题名升序题名降序作者升序作者降序 Chemisorption sensing and analysis using silicon cantilever sensor based on n-type metal-oxide-semiconductor transistor 期刊论文 微电子工程, 2011 Wang, Jian; Feng, Bo; Wu, Wengang; Huang, Ying 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/10 Cantilever sensor  MOS transistor  Chemisorption  Surface stress  Molecular interaction mechanism  GAS-CHROMATOGRAPHY  SURFACE STRESS  MICROCANTILEVERS  SPECTROMETRY  SENSITIVITY  EXPLOSIVES  PLATFORM   Stability of Mechanical Properties for Submicrometer Single-Crystal Silicon Cantilever Under Cyclic Load 期刊论文 journal of microelectromechanical systems, 2011, 卷号: 20, 期号: 1, 页码: 178-183 Zhu YF; Zhang FX; Yang JL; Zheng HY; Yang FH 收藏  |  浏览/下载：51/8  |  提交时间：2011/07/06 Cyclic  mechanical property  resonant frequency  stability  submicrometer-thick cantilever  ENERGY-DISSIPATION  STRUCTURAL FILMS  THIN-FILMS  FATIGUE   硅基PZT压电驱动扫描微镜的设计与优化 会议论文 中国微米、纳米技术第七届学术会年会论文集（一）, 中国微米、纳米技术第七届学术会年会, 中国大连, CNKI, 中国机械工程学会 方华军; 刘理天; 任天令; Fang Huajun; Liu Litian; Ren Tianling 收藏  |  浏览/下载：9/0 压电折叠梁微执行器的低电压优化设计 期刊论文 2010, 2010 方华军; 刘理天; FANG Hua-jun; LIU Li-tian 收藏  |  浏览/下载：2/0 Design optimization of piezoelectric folded cantilever microactuators for low voltage application 期刊论文 2010, 2010 Fang Hua-jun; Liu Li-tian 收藏  |  浏览/下载：3/0 Disentangling mechanical and mass effects on nanomechanical resonators 期刊论文 Applied physics letters, 2010, 卷号: 96, 期号: 2, 页码: 3 作者:  Grueter, R. R.;  Khan, Z.;  Paxman, R.;  Ndieyira, J. W.;  Dueck, B. 收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2019/05/12 Adsorbed layers  Micromechanical resonators  Microsensors  Nanomechanics   Disentangling mechanical and mass effects on nanomechanical resonators 期刊论文 applied physics letters, 2010, 卷号: 96, 期号: 2, 页码: art. no. 023113 Gruter RR; Khan Z; Paxman R; Ndieyira JW; Dueck B; Bircher BA; Yang JL; Drechsler U; Despont M; McKendry RA; Hoogenboom BW 收藏  |  浏览/下载：316/96  |  提交时间：2010/04/13 adsorbed layers  micromechanical resonators  microsensors  nanomechanics  CRYSTAL SILICON CANTILEVERS  BIOLOGICAL DETECTION  FREQUENCY  ARRAYS  RESONANCE  BINDING   < 100 > n-type metal-oxide-semiconductor field-effect transistor-embedded microcantilever sensor for observing the kinetics of chemical molecules interaction 期刊论文 应用物理学快报, 2009 Wang, Jian; Wu, Wengang; Huang, Ying; Hao, Yilong 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/10 PLATFORM  TRANSDUCERS  SILICON  STRESS   Optimization of sensitivity and noise in piezoresistive cantilevers 期刊论文 应用物理杂志, 2002 Yu, XM; Thaysen, J; Hansen, O; Boisen, A 收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11 1/F NOISE