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| 基于湿法预释放结构的MEMS红外光源 专利
专利号: CN201621033986.3, 申请日期: 2017-03-15,
作者: 王玮冰 ; 陈大鹏; 孙西龙; 刘卫兵; 明安杰
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| 纳米孔阵列的制作方法 专利
专利号: CN201210177735.2, 申请日期: 2016-03-30, 公开日期: 2013-12-18
作者: 董立军; 赵超
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2017/06/13 |
| 一种电解液间歇循环式金属/空气电池系统 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN201210222298.1, 申请日期: 2014-01-01, 公开日期: 2014-01-15
孙公权; 王二东; 陈利康; 秦兵
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| 基于浓硼自停止腐蚀技术的硅微谐振结构的制备 学位论文
2013, 2013
张豪尔
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2016/01/13
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| MEMS热红外光源的设计与制备 学位论文
2013, 2013
李昌政
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2016/01/13
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| 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
周晓峰
收藏 | 浏览/下载：118/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
蔡梅妮
收藏 | 浏览/下载：145/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 高机械灵敏度悬空导电薄膜的制备方法研究 期刊论文
2012
郑志霞; 冯勇建
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2016/05/17
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| 三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健
收藏 | 浏览/下载：58/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2013/02/22
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