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| 新型三明治MEMS加速度传感器的设计、制作与测试 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
周晓峰
  收藏 | 浏览/下载：118/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 三明治电容式MEMS加速度传感器真空封装研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2012
蔡梅妮
收藏 | 浏览/下载：145/0 | 提交时间：2013/04/24
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| 三明治电容式MEMS加速度计的器件级真空封装 期刊论文
半导体技术, 2012, 期号: 10, 页码: 790-794+814
蔡梅妮; 车录锋; 林友玲; 周晓峰; 黎晓林; 吴健
收藏 | 浏览/下载：58/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 用于器件级真空封装的MEMS加速度传感器的设计与制作 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 12, 页码: 107-110+113
蔡梅妮; 林友玲; 车录锋; 苏荣涛; 周晓峰; 黎晓林
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 微创手术式硅微机械加工(MISSM)技术 期刊论文
传感技术学报, 2012, 期号: 7, 页码: 885-890
王家畴; 刘洁丹; 李昕欣
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 基于金硅原电池保护电容加速度计的制作 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 期号: 1, 页码: 133-136
王辉; 吴燕红; 杨恒
收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2013/02/22
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| 在绝缘层中嵌入纳米晶的半导体材料制备方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101908472A, 申请日期: 2010-12-08, 公开日期: 2010-12-08
魏星; 王湘; 张苗; 王曦; 林成鲁
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 采用腐蚀工艺形成带有绝缘埋层的衬底的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101707188A, 申请日期: 2010-05-12, 公开日期: 2010-05-12
王曦; 魏星; 王湘; 李显元; 张苗; 林成鲁
收藏 | 浏览/下载：12/0 | 提交时间：2012/01/06 |
| 一种FIB刻蚀结合KOH腐蚀的制造纳米梁的新方法 期刊论文
功能材料与器件学报, 2010, 期号: 02
成海涛; 杨恒; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 采用选择腐蚀工艺制备绝缘体上硅材料的方法 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101615590, 申请日期: 2009-12-30, 公开日期: 2009-12-30
魏星; 王湘; 李显元; 张苗; 王曦; 林成鲁
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2012/01/06 |
