投影光刻物镜的计算机辅助装调

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	投影光刻物镜的计算机辅助装调
	赵菲菲 ; 唐剑宇 ; 黄玮 ; 许伟才
刊名	光学学报
	2014-06-09
期号	6 页码:206-211
关键词	光学设计计算机辅助装调投影光刻物镜奇异值分解畸变
中文摘要	针对投影光刻物镜苛刻的像质要求,将计算机辅助装调(CAA)技术引入投影光刻物镜的装调过程中,建立了相应的数学模型。选取33个视场Fringe Zernike多项式的4~37项,以及畸变作为校正对象,并选取19个结构参量作为补偿器。通过将CODE V的宏功能和Matlab结合,采集灵敏度矩阵和像质数据。提出用奇异值分解求加权最小二乘解的方法计算补偿量,通过权重因子实现对不同视场上不同Zernike项系数或畸变的改进。将补偿后光刻物镜的性能和理想光刻物镜对比,发现相比于设计镜头,装调后镜头的平均波前均方根(RMS)大约差0.004λ,平均畸变大约差1nm,该方法可以将系统波像差和畸变恢复到接近设计水平。
语种	中文
公开日期	2015-05-27
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/42839]
专题	长春光学精密机械与物理研究所_中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	赵菲菲,唐剑宇,黄玮,等. 投影光刻物镜的计算机辅助装调[J]. 光学学报,2014(6):206-211.
APA	赵菲菲,唐剑宇,黄玮,&许伟才.(2014).投影光刻物镜的计算机辅助装调.光学学报(6),206-211.
MLA	赵菲菲,et al."投影光刻物镜的计算机辅助装调".光学学报 .6(2014):206-211.