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上海微系统与信息技术... [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
2005 [2]
学科主题
Engineerin... [1]
Materials ... [1]
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Interfacial characteristics of fully depleted SiGe-on-insulator (SGOI) substrate fabricated by modified Ge condensation
期刊论文
SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, 2005, 卷号: 20, 期号: 8, 页码: L31-L35
Di, ZF
;
Zhang, M
;
Liu, WL
;
Luo, SH
;
Song, ZT
;
Lin, CL
;
Lin, Q
;
Chu, PK
收藏
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提交时间:2012/03/24
ELECTRON-MOBILITY ENHANCEMENT
STRAINED-SI
DIFFUSION
OXIDATION
GERMANIUM
SILICON
ALLOYS
Relaxed SiGe-on-insulator fabricated by dry oxidation of sandwiched Si/SiGe/Si structure
期刊论文
MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B-SOLID STATE MATERIALS FOR ADVANCED TECHNOLOGY, 2005, 卷号: 124, 页码: 153-157
Di, ZF
;
Zhang, M
;
Liu, WL
;
Zhu, M
;
Lin, CL
;
Chu, PK
收藏
  |  
浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2012/03/24
ELECTRON-MOBILITY ENHANCEMENT
FIELD-EFFECT TRANSISTORS
STRAINED-SI
LAYER TRANSFER
N-MOSFETS
GERMANIUM
STABILITY
SUBSTRATE
EPITAXY
ALLOYS
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