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基于四波横向剪切干涉的定量相位显微成像及应用研究 学位论文
北京: 中国科学院大学, 2022
作者:  宋金伟
收藏  |  浏览/下载:4/0  |  提交时间:2022/06/20
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2020/08/24
光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/17
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:  方超
收藏  |  浏览/下载:1/0  |  提交时间:2019/09/23
光栅剪切干涉波前测量技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  李杰
收藏  |  浏览/下载:209/0  |  提交时间:2016/11/28
光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析 期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006
作者:  李杰;  唐锋;  王向朝;  戴凤钊;  冯鹏
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2016/11/28
光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析 期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006
作者:  李杰;  唐锋;  王向朝;  戴凤钊;  冯鹏
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2016/11/25
光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析 期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006
作者:  李杰;  唐锋;  王向朝;  戴凤钊;  冯鹏
收藏  |  浏览/下载:29/0  |  提交时间:2016/11/28


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