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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Process for fabricating microactuator membranes of piezoelectric inkjet print head using multi-step deep reactive ion etching process 期刊论文 MICRO & NANO LETTERS, 2017, 卷号: 12, 页码: 482-485 作者:  Wang, Wenqiang;  Li, Chen;  Xu, Wencai;  Zou, Helin 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2019/12/02 microactuators  membranes  ink jet printing  sputter etching  silicon  elemental semiconductors  microactuator membranes  piezoelectric inkjet print head  multistep deep reactive ion etching process  multilayered structures  multilayered actuator membranes  silicon on insulator wafers  notching effect  Si  SiO2