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科研机构
上海光学精密机械研究... [4]
厦门大学 [1]
沈阳自动化研究所 [1]
内容类型
学位论文 [5]
期刊论文 [1]
发表日期
2022 [1]
2013 [1]
2010 [2]
学科主题
光学工程 [2]
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基于电喷印集成制造阵列化嵌金属电极柔性微流体管道
期刊论文
中国科学:技术科学, 2022, 页码: 1-11
作者:
吕孝峰
;
郭洪吉
;
孙丽娜
;
杨婷
;
邹旿昊
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2022/03/15
电喷印
柔性微流体管道
无掩膜制造
柔性图案化金属电极
柔性电路气浮沉积制造工艺研究
学位论文
2013, 2013
徐布磊
收藏
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浏览/下载:2/0
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提交时间:2016/01/13
气浮沉积
喷印制造
柔性电路
Aerosol Disposition
Printing and Manufacturing
Flexible Circuit
基于飞秒激光与透明材料相互作用的三维微纳制备与集成
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:
廖洋
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2016/11/28
芯片实验室
飞秒激光三维集成
微流体
微光学
微电学
基于飞秒激光与透明材料相互作用的三维微纳制备与集成
学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2010
作者:
廖洋
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2016/11/28
芯片实验室
飞秒激光三维集成
微流体
微光学
微电学
桌面式无掩膜光刻系统的研制
学位论文
作者:
梁鑫
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浏览/下载:60/0
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提交时间:2018/12/26
桌面式光刻系统
Maskless lithography
小孔检焦系统
automatic tracking
自动跟踪系统
flatness measurement
运动平整度检测
调平聚焦伺服控制系统的优化设计
学位论文
作者:
宗永红
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2018/12/26
光栅
grating
调平调焦
leveling and focusing
差动像散
differential astigmatism
反馈控制
feedback control
误差分析与校正
error analysis and correction
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