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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
  收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2020/08/24
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| 光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者: 张璐; 向阳
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 基于衍射光学元件的多波前横向剪切干涉方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 崔博川
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 方超
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者: 方超; 向阳; 齐克奇
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/17
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| 光栅剪切干涉波前测量技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 李杰
收藏 | 浏览/下载：205/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 光刻投影物镜波像差原位干涉检测技术研究 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2015
作者: 吴飞斌
收藏 | 浏览/下载：78/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
方超; 向阳
收藏 | 浏览/下载：11/0 | 提交时间：2015/04/17
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| 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析 期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006
作者: 李杰; 唐锋; 王向朝; 戴凤钊; 冯鹏
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析 期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006
作者: 李杰; 唐锋; 王向朝; 戴凤钊; 冯鹏
收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2016/11/25
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