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新型传感器及芯片——集成霍尔传感器及系列驱动芯片 成果
鉴定: 无, 2007
高勇进; 黄绪江; 王家斌; 刘德忠; 刘先锋; 晋建科; 张志红; 郑长武; 王振忠; 王美园
收藏  |  浏览/下载:186/0  |  提交时间:2013/04/12
一种用于微机械器件制作玻璃/硅键合装置及其使用方法 成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣; 王跃林; 张锟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐
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一种量程可达200万M/S2的微机械加速度传感器 成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣; 王跃林; 张锟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐
收藏  |  浏览/下载:19/0  |  提交时间:2013/04/12
曲面贴合过载保护硅加速度传感器及制造方法 成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣; 王跃林; 张锟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐
收藏  |  浏览/下载:24/0  |  提交时间:2013/04/12
控制键合过程中玻璃或有机胶塌陷支撑体 成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣; 王跃林; 张锟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2013/04/12
一种量程可达2万M/S2的微机械加速度传感器 成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣; 王跃林; 张锟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2013/04/12
深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器及其制造方法 成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣; 王跃林; 张锟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐
收藏  |  浏览/下载:10/0  |  提交时间:2013/04/12
玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法(中科院) 成果
鉴定: 无, 2004
熊幸果; 陆德仁; 王渭源
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高性能微机械高冲击加速度传感器技术研究(中科院) 成果
鉴定: 无, 2004
李昕欣; 王跃林; 张鲲; 熊斌; 陆德仁; 罗乐
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2013/04/12
玻璃衬底上可动硅微机械结构集成化的制作方法 成果
鉴定: 无, 2004
熊幸果; 陆德仁; 王渭源
收藏  |  浏览/下载:8/0  |  提交时间:2013/04/12


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