| 一种量程可达2万M/S2的微机械加速度传感器 | |
| 李欣欣 ; 王跃林 ; 张锟 ; 陆德仁 ; 熊斌 ; 罗乐 | |
| 2005 | |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 本成果涉及一种量程可达20万m/s2的微机械加速度传感器。其特征在于它是由芯片和厚度比它稍厚的矩形框架构成,芯片封装在框架中,并用玻璃盖板上下与其键合而成。芯片采用薄板一岛的结构,主要有锚区、支撑质量块的悬空薄板、质量块、敏感电阻构成。其弹性作用的薄板为单晶硅薄层,其厚度与量程有关;敏感电阻设计成单一直线状,长度可接近薄板宽。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113583]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李欣欣,王跃林,张锟,等. 一种量程可达2万M/S2的微机械加速度传感器. 鉴定:无. 2005. |
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