| 曲面贴合过载保护硅加速度传感器及制造方法 | |
| 李欣欣 ; 王跃林 ; 张锟 ; 陆德仁 ; 熊斌 ; 罗乐 | |
| 2005 | |
| 获奖类别 | 鉴定 |
| 获奖等级 | 无 |
| 中文摘要 | 本课题研发出了水平敏感的高冲击加速度传感器,发明了曲面贴合过载保护和动态阻尼控制微机械结构设计及制造技术,实现了比国际禁运产品更好的动态特性。研发出高灵敏度的悬臂梁侧壁压阻技术,研发出将静电驱动器和侧壁压阻敏感器集成于同一悬臂梁的技术,在国际上率先实现了数万g压阻冲击传感器的静电自检功能。研发出一种高频率响应的竖直敏感双岛结构高冲击传感器,并与水平敏感传感器集成一体实现了单片集成三维高冲击加速度传感器。 |
| 语种 | 中文 |
| 内容类型 | 成果 |
| 源URL | [http://ir.sim.ac.cn/handle/331004/113586]  |
| 专题 | 上海微系统与信息技术研究所_中文期刊、会议、专利、成果_成果 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 李欣欣,王跃林,张锟,等. 曲面贴合过载保护硅加速度传感器及制造方法. 鉴定:无. 2005. |
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