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上海微系统与信息技术... [6]
内容类型
成果 [6]
发表日期
2005 [6]
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共6条,第1-6条
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发表日期:2005
内容类型:成果
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一种用于微机械器件制作玻璃/硅键合装置及其使用方法
成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣
;
王跃林
;
张锟
;
陆德仁
;
熊斌
;
罗乐
收藏
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2013/04/12
一种量程可达200万M/S2的微机械加速度传感器
成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣
;
王跃林
;
张锟
;
陆德仁
;
熊斌
;
罗乐
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2013/04/12
曲面贴合过载保护硅加速度传感器及制造方法
成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣
;
王跃林
;
张锟
;
陆德仁
;
熊斌
;
罗乐
收藏
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浏览/下载:24/0
  |  
提交时间:2013/04/12
控制键合过程中玻璃或有机胶塌陷支撑体
成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣
;
王跃林
;
张锟
;
陆德仁
;
熊斌
;
罗乐
收藏
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浏览/下载:18/0
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提交时间:2013/04/12
一种量程可达2万M/S2的微机械加速度传感器
成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣
;
王跃林
;
张锟
;
陆德仁
;
熊斌
;
罗乐
收藏
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浏览/下载:17/0
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提交时间:2013/04/12
深沟侧壁扩散和电绝缘薄膜填充制造压阻加速度传感器及其制造方法
成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣
;
王跃林
;
张锟
;
陆德仁
;
熊斌
;
罗乐
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/04/12
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