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三维叠层气浮运动平台控制系统研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  马驰飞
收藏  |  浏览/下载：64/0  |  提交时间：2015/07/30
投影光刻机中的线阵CCD高速检焦技术研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者:  陈昌龙
收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2015/07/30
基于线阵CCD的高速光刻检焦技术 期刊论文
红外与激光工程, 2015, 卷号: 44, 期号: 8, 页码: 2389-2394
作者:  陈昌龙;  邸成良;  唐小萍;  胡松
收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/23
DMD无掩模光刻机主控软件系统的设计 期刊论文
微纳电子技术, 2014, 卷号: 51, 期号: 10, 页码: 673-678
作者:  冯金花;  胡松;  李艳丽;  何渝
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/23
基于线阵CCD数字图像处理技术的叶丝宽度测量装置 期刊论文
烟草科技, 2013, 期号: 10, 页码: 12-16
作者:  赵维一;  温若愚;  曾建;  邸成良;  严伟
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/23
双工件台光刻机中的焦面控制技术 期刊论文
光学学报, 2012, 卷号: 32, 期号: 12, 页码: 241-245
作者:  李金龙;  胡松;  赵立新
收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2016/11/23
基于模糊PID的光刻机同步扫描控制 期刊论文
微纳电子技术, 2011, 卷号: 48, 期号: 9, 页码: 591-595+605
作者:  盛壮;  唐小萍;  胡松;  李兰兰;  谢飞
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2016/11/23
双工件台光刻机中的调平调焦技术 期刊论文
光电工程, 2010, 卷号: 37, 期号: 8, 页码: 24-28
作者:  李金龙;  赵立新;  胡松;  周绍林
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2016/11/23
基于PCIE总线的SCSI设备驱动程序研究 期刊论文
微纳电子技术, 2010, 卷号: 47, 期号: 8, 页码: 494-498
作者:  王东旭;  任国强;  田园;  李其虎
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2016/11/01
双视场中波红外变焦系统研究 期刊论文
光电工程, 2010, 卷号: 37, 期号: 9, 页码: 104-109
作者:  杨鹏;  伍凡
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2016/11/22

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