双视场中波红外变焦系统研究

	双视场中波红外变焦系统研究
	杨鹏; 伍凡
刊名	光电工程
	2010
卷号	37 期号:9 页码:104-109
通讯作者	杨鹏
中文摘要	大型非球面反射主镜的检测,国内通常采用离线的卧式检测。由于气流、温度变化以及地基振动等环境因素,容易影响检测的可靠性和重复性。国外在大型非球面反射主镜的检测中普遍采用在位或离线的立式检测塔。本文针对Φ1.07m,F/1.5非球面反射主镜在加工中的检测,在有限的加工环境中设计了一套分体式立式在位检测塔,由一个四维工作台调节平面反射镜来转折光路、一个五维工作台调节补偿器和一个五维工作台调节干涉仪以满足测量中自由度的调节需要。用有限元分析软件ANSYS对立式塔进行了应力和应变的设计分析以检验其刚性、重心位置和变形情况,以及避免与工件转台产生共振的模态分析。该检测塔在Φ1.07m,F/1.5非球面反射主镜加工过程中得以用于检测测量,获得了稳定的干涉图和良好的重复性,工件接近完工时的检测结果为PV=0.313λ,RMS=0.024λ。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/6977]
专题	光电技术研究所_先光中心
作者单位	中国科学院光电技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	杨鹏,伍凡. 双视场中波红外变焦系统研究[J]. 光电工程,2010,37(9):104-109.
APA	杨鹏,&伍凡.(2010).双视场中波红外变焦系统研究.光电工程,37(9),104-109.
MLA	杨鹏,et al."双视场中波红外变焦系统研究".光电工程 37.9(2010):104-109.