基于模糊PID的光刻机同步扫描控制

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	基于模糊PID的光刻机同步扫描控制
	盛壮; 唐小萍; 胡松; 李兰兰; 谢飞; 李金龙; 徐锋
刊名	微纳电子技术
	2011
卷号	48 期号:9 页码:591-595+605
通讯作者	盛壮
中文摘要	基于模糊PID控制理论,介绍了步进扫描光刻机中工件台同步扫描的控制方法,并简要介绍了相关的控制理论基础知识,详细阐述了模糊控制器的制作过程和模糊规则的制定方法。另外针对同步扫描控制的难点,简要介绍了步进扫描光刻机的同步扫描过程,而且建立了同步运动的执行器直线电机的仿真模型。采用模糊PID理论对同步扫描系统进行控制策略研究,仿真实验表明,硅片台稳态误差及掩膜台稳态误差能够快速衰减达到稳定状态,而同步误差的精度也能达到微米级别。这种方案具有较好的动态特性及鲁棒性,同步误差较小,有望满足高精度同步扫描的要求。
语种	中文
内容类型	期刊论文
源URL	[http://ir.ioe.ac.cn/handle/181551/7247]
专题	光电技术研究所_微电子装备总体研究室（四室）
作者单位	中国科学院光电技术研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	盛壮,唐小萍,胡松,等. 基于模糊PID的光刻机同步扫描控制[J]. 微纳电子技术,2011,48(9):591-595+605.
APA	盛壮.,唐小萍.,胡松.,李兰兰.,谢飞.,...&徐锋.(2011).基于模糊PID的光刻机同步扫描控制.微纳电子技术,48(9),591-595+605.
MLA	盛壮,et al."基于模糊PID的光刻机同步扫描控制".微纳电子技术 48.9(2011):591-595+605.