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基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:  吴越;  王丽萍;  于杰;  张旭;  金春水
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2022/06/29
基于粒子群算法离轴多反光学系统设计 期刊论文
中国光学, 2021, 卷号: 14, 期号: 06, 页码: 1435-1450
作者:  吴越;  王丽萍;  于杰;  张旭;  金春水
收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2022/06/13
浸没式光刻投影物镜光学薄膜 期刊论文
中国光学, 2018, 期号: 05, 页码: 745-764
作者:  毕丹丹;  张立超;  时光
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2019/09/17
抑制零级串扰的光栅横向剪切干涉测量 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 05, 页码: 139-144
作者:  方超;  向阳;  齐克奇
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/09/17
成像系统倍率高精度测量技术研究 期刊论文
光学学报, 2018, 期号: 07, 页码: 167-176
作者:  董冠极;  唐锋;  王向朝;  冯鹏;  郭福东
收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2019/09/17
193nm投影光刻物镜光机系统关键技术研究进展 期刊论文
中国科学:技术科学, 2017, 页码: 565-581
作者:  张德福;  李显凌;  芮大为;  李朋志;  东立剑
收藏  |  浏览/下载：42/0  |  提交时间：2018/04/09
大偏离度非球面检测畸变校正方法 期刊论文
中国光学, 2017, 页码: 383-390
作者:  高松涛;  武东城;  苗二龙
收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2018/04/09
全频段亚纳米精度氟化钙材料加工 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 11, 页码: 2636-2643
作者:  刘健;  张春雷;  徐乐;  马占龙;  王飞
收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2017/09/17
狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  
收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2017/09/17
基于3-RRR结构的光学元件柔顺微动调整机构的位姿正解 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 6, 页码: 1373-1381
作者:  赵磊;  梁超;  张德福;  东立剑;  彭海峰
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2017/09/17

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