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光栅横向剪切干涉仪系统误差的校正方法 期刊论文
中国激光, 2018, 期号: 08, 页码: 175-180
作者:  张璐;  向阳
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2019/09/17
投影光刻物镜的计算机辅助装调 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 6, 页码: 206-211
赵菲菲; 唐剑宇; 黄玮; 许伟才
收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2015/04/17
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
方超; 向阳
收藏  |  浏览/下载：11/0  |  提交时间：2015/04/17
衍射光学元件的加工工艺及其在各种光谱镜头中的应用 期刊论文
光电技术应用, 2014, 卷号: 29, 期号: 2, 页码: 31-38+65
作者:  程习敏;  白瑜;  谢伟民;  邢廷文;  林妩媚
收藏  |  浏览/下载：12/0  |  提交时间：2016/11/01
准分子激光刻蚀可变焦光路设计研究 期刊论文
2012, 2012
陈涛
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2017/06/16
面投影微立体光刻系统的开发和研究 期刊论文
制造业自动化, 2011, 期号: 2
作者:  吴东岷
收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2012/09/11
浸没式阵列激光扫描直写光刻 期刊论文
2010, 2010
徐端颐; 范晓冬; 蒋培军; 齐国生; XU Duan-yi; FAN Xiao-dong; JIANG Pei-jun; QI Guo-sheng
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Offner补偿器的结构设计与装调 期刊论文
光学精密工程, 2010, 卷号: 18, 期号: 1, 页码: 88-93
陈旭; 刘伟奇; 康玉思; 冯睿; 魏忠伦; 柳华
收藏  |  浏览/下载：46/0  |  提交时间：2012/09/25
CaF_2晶体及加工技术研究 期刊论文
长春理工大学学报(自然科学版), 2007, 期号: 2
段安锋; 范翊; 刘景和; 沈永宏
收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2012/09/25
早日推出生产型步进投影光刻机 期刊论文
电子工业专用设备, 1991, 期号: 03
张敏
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2012/03/29

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