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| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 毕丹丹
  收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 周泽龙
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2019/09/23
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| 接近式表面等离子体透镜光刻分辨力增强原理和方法研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 张伟
收藏 | 浏览/下载：23/0 | 提交时间：2016/12/30
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| 高数值孔径投影光刻物镜的光学设计 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 徐明飞
收藏 | 浏览/下载：63/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 偏振性能测试方法研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2015
作者: 侯梦晗
收藏 | 浏览/下载：69/0 | 提交时间：2015/07/30
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| 激光投影系统中的均匀照明研究 学位论文
博士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2009
廖志杰
收藏 | 浏览/下载：107/0 | 提交时间：2013/11/19
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| 高数值孔径光刻中光的传播与成像研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1周远,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：71/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 光刻分辨率增强技术研究 学位论文
博士: 中国科学院电工研究所, 2008
1高松波,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 分辨率增强技术在ArF光刻中的应用 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2007
1孙知渊,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2010/10/18
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| 液体热效应对浸没式ArF光刻性能影响的研究 学位论文
硕士: 中国科学院电工研究所, 2007
1樊明哲,电工研究所
收藏 | 浏览/下载：16/0 | 提交时间：2010/10/18
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