|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式：
|
| 压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 李朋志
  收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2020/08/24
|
| 投影光刻物镜像质补偿策略与补偿技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 赵磊
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2020/08/24
|
| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者: 张璐
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2020/08/24
|
| 浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 毕丹丹
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2019/09/23
|
| 投影光刻物镜偏振像差研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 周泽龙
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2019/09/23
|
| 光刻物镜系统波像差横向剪切干涉测量研究 学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者: 方超
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/09/23
|
| 干涉面形绝对检测不确定度评估方法研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2017
作者: 全海洋
收藏 | 浏览/下载：47/0 | 提交时间：2017/06/02
|
| 基于机器视觉的可变光栏的测量技术研究 学位论文
硕士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 谢红
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2017/01/06
|
| 主动自由曲面补偿光学系统像差研究 学位论文
博士, 北京: 中国科学院研究生院, 2016
作者: 周超
收藏 | 浏览/下载：37/0 | 提交时间：2016/12/30
|
| 高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 沈丽娜
收藏 | 浏览/下载：146/0 | 提交时间：2016/11/28
|
