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浏览/检索结果: 共11条，第1-10条 帮助 限定条件 学科主题：光学工程     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：270/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   光刻机光瞳整形系统设计与仿真研究 学位论文 作者:  马健 收藏  |  浏览/下载：1385/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机  lithography machine  光瞳整形  pupil shaping  变焦系统  zoom system  轴锥镜组  axicon group  光学设计  optical design   基于点衍射干涉仪的成像系统综合像质检测技术 学位论文 作者:  董冠极 收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2018/12/26 光学检测  Optical Measurement  像差  Aberration  泽尼克多项式  Zernike polynomials  点衍射干涉  Point-diffraction   基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术 学位论文 作者:  王磊 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻  optical lithography  分辨率增强技术  resolution enhancement technique  光源掩模投影物镜优化  source mask projector optimization  粒子群算法  particle swarm optimization   衍射透镜焦斑的非迭代相干检测研究 学位论文 作者:  王松贤 收藏  |  浏览/下载：36/0  |  提交时间：2018/12/26 衍射透镜  diffractive lenses  数字全息  digital holography,  微光器件  micro-optical device,  光子筛  photon sieve,  自动对焦  autofocus   高端光刻机照明系统智能均匀性校正技术研究 学位论文 作者:  程伟林 收藏  |  浏览/下载：120/0  |  提交时间：2018/12/26 高端光刻机照明系统  Advanced lithographic illumination  智能均匀性校正技术  intelligent uniformity correction  手指阵列式均匀性校正技术  finger arreys uniformity correction  阵列式手指驱动技术  finger array driving technology   桌面式无掩膜光刻系统的研制 学位论文 作者:  梁鑫 收藏  |  浏览/下载：60/0  |  提交时间：2018/12/26 桌面式光刻系统  Maskless lithography  小孔检焦系统  automatic tracking  自动跟踪系统  flatness measurement  运动平整度检测   调平聚焦伺服控制系统的优化设计 学位论文 作者:  宗永红 收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅  grating  调平调焦  leveling and focusing  差动像散  differential astigmatism  反馈控制  feedback control  误差分析与校正  error analysis and correction   浸没式光刻机投影物镜波像差检测技术研究 学位论文 作者:  诸波尔 收藏  |  浏览/下载：96/0  |  提交时间：2018/12/26 浸没式光刻机  Immersion lithography tool  投影物镜  Projection lens  波像差检测  Wavefront aberration measurement  空间像  Aerial image  主成分分析  Principal component analysis (PCA)   基于激光直写系统的衍射光栅制备 学位论文 作者:  王津 收藏  |  浏览/下载：17/0  |  提交时间：2018/12/26 激光直写系统  direct laser writing system  衍射光栅  diffraction gratings  旋转达曼光栅技术  rotating Dammann grating technology