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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 发表日期：2014    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于辨识逆模型的AFM压电驱动器迟滞性前馈校正 会议论文 11th World Congress on Intelligent Control and Automation (WCICA 2014), Shenyang, China, June 29 - July 4, 2014 作者:  王栋;  于鹏;  周磊;  刘柱;  杨洋 收藏  |  浏览/下载：53/0  |  提交时间：2014/12/29 直接辨识逆模型  原子力显微镜  原子力显微镜  压电陶瓷  迟滞性校正   投影物镜偏振像差对光刻成像质量的影响分析 会议论文 作者:  沈丽娜;  李思坤;  王向朝;  闫观勇 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2016/11/28 基于小波变换和双螺旋莫尔条纹的光束准直性检测方法 会议论文 作者:  李思坤;  王向朝;  李中华 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2016/11/28 基于粒子群优化算法的光刻机光源优化方法 会议论文 作者:  王磊;  李思坤;  王向朝;  闫观勇;  杨朝兴 收藏  |  浏览/下载：27/0  |  提交时间：2016/11/28