投影物镜偏振像差对光刻成像质量的影响分析

	投影物镜偏振像差对光刻成像质量的影响分析
	沈丽娜; 李思坤; 王向朝; 闫观勇
	2014
中文摘要	由于高NA与偏振光照明的应用,光刻机投影物镜的偏振像差对光刻成像质量的影响越来越显著;引起图像位置偏移、最佳焦面偏移和图形CD误差,导致成像质量的恶化和工艺窗口的减小。因此,需要准确测量和控制投影物镜的偏振像差。分析偏振像差对成像质量的影响是对偏振像差进行测量和控制的前提,具有重要的研究意义。课题组前期提出一种基于解析方程的偏振像差分析方法,成功推导并验证了泡利系数a_0、a_1与光刻成像质量劣化之间的关系。本文进一步研究投影物镜偏振像差对光刻成像质量的影响。首先,基于Hopkins部分相干矢量光刻成像模型,推导存在偏振像差的条件下,一维交替掩模光栅空间像的光强分布公式。然后,通过数值计...
会议录	第十五届全国光学测试学术交流会论文摘要集
语种	中文
内容类型	会议论文
源URL	[http://ir.siom.ac.cn/handle/181231/17250]
专题	上海光学精密机械研究所_信息光学与光电技术实验室
作者单位	中国科学院上海光学精密机械研究所
推荐引用方式 GB/T 7714	沈丽娜,李思坤,王向朝,等. 投影物镜偏振像差对光刻成像质量的影响分析[C]. 见:.